为了快速制备平整高透过率SiO₂ 气凝胶薄膜，以正硅酸乙酯 (TEOS) 为硅源，乙二醇甲醚 (EGME)为溶剂，氟化铵为催化剂，甲酰胺(FORM)等为干燥控制化学添加剂 (DCCA), 通过浸渍提拉法制备SiO₂ 气凝胶薄膜。采用傅里叶变换红外分析仪(FT-IR)、X 射 线 衍 射 仪 (XRD)、场 发 射 扫 描 电 子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)、表面孔径吸附仪对材料的结构和性能进行表征，紫外-可见分光光度计(UV-Vis)考察了材料的减反性能。结 果 表 明，所 制SiO₂气凝胶薄膜的比表面积为890.9m²/g，孔径集中分布在22.6nm 处，孔容集中分布在0.69cm³/g，400~800nm范围平均透过率可达95.71％。这种均匀、平整、致密的膜层,是理想的光学减反膜。