分析化学学科研讨会,中国聚合物网

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纳米磨料在二氧化硅介质CMP 中的作用分析
关键字：化学机械抛光,纳米磨料,粒径,浓度,去除速率
二氧化硅是目前IC 生产中应用最广泛的层间介质，为满足光刻的要求，必须采用化学机械抛光（CMP）工艺对介质表面进行平整化加工，分析了二氧化硅介质CMP 机理过程，指出了磨料是影响去除速率及表面状态的关键因素，并以自制纳米二氧化硅水溶胶配制抛光浆料进行CMP 实验研究，采用这种高浓度、易清洗、低分散度的硅溶胶纳米磨料达到了较高的去除速率和较好的表面状态，有效地减少了表面划伤。另外还分析了磨料粒径、...
http://www.polymer.cn/research/dis_info7062

纺织品定量化学分析第101部分：大豆蛋白复合纤维与某些其他纤维的混合物
GB/T 2910的本部分规定了大豆蛋白复合纤维（与聚乙烯醇复合）二组分混合物的化学分析方法。本部分适用于大豆蛋白复合纤维（与聚乙烯醇复合）与某些其他纤维的二组分混合物。
http://www.polymer.cn/Industry/bz844.html

纺织品定量化学分析第24部分：聚酯纤维与某些其他纤维的混合物（苯酚/四氯乙烷法）
GB/T 2910的本部分规定了采用苯酚/四氯乙烷法测定去除非纤维的物质后以下两组分混合物中聚酯纤维含量的方法 ——聚酯纤维和 ——聚丙烯腈纤维、改性聚酯纤维本部分不适用于涂层织物。
http://www.polymer.cn/Industry/bz843.html

纺织品定量化学分析第23部分：聚乙烯纤维与聚丙烯纤维的混合物（环己酮法）
GB/T 2910的本部分规定了采用环己酮法测定去除非纤维的物质后聚乙烯纤维的含量的方法。本部分仅适用于聚乙烯纤维和聚丙烯纤维混纺的混合物。
http://www.polymer.cn/Industry/bz842.html

纺织品定量化学分析第20部分：聚氨酯弹性纤维与某些其他纤维的混合物（二甲基乙酰胺法）
GB/T 2910的本部分规定了采用二甲基乙酰胺法测定去除非纤维的物质后以下两组分混合物中聚氨酯弹性纤维含量的方法。 ——聚氨酯弹性纤维和 ——棉、粘胶纤维、铜氨纤维、莫代尔纤维、莱塞尔纤维、聚酰胺纤维、聚酯纤维、丝和羊毛纤维。本部分不适用于聚丙烯腈纤维同时存在的情况。
http://www.polymer.cn/Industry/bz839.html

纺织品定量化学分析第18部分：蚕丝与羊毛或其他动物毛纤维的混合物（硫酸法）
GB/T 2910的本部分规定了采用硫酸法测定去除非纤维物质后的蚕丝和羊毛或其他动物毛纤维二组分混合物中纤维含量的方法。
http://www.polymer.cn/Industry/bz837.html

纺织品定量化学分析第17部分：含氯纤维（氯乙烯均聚物）与某些其他纤维的混合物（硫酸法）
GB/T 2910的本部分规定了采用硫酸法测定去除非纤维物质后的由以下纤维组成的混合物中含氯纤维含量的方法： ——基于氯乙烯均聚物的含氯纤维（不论是否后氯化）；和 ——棉、粘胶纤维、铜氨纤维、莫代尔纤维、醋酯纤维、三醋酯纤维、聚酰胺纤维、聚酯纤维、某些聚丙烯腈纤维和某些改性聚丙烯腈纤维。预先试验显示含氯纤维在二甲基甲酰胺或二硫化碳/丙酮共沸混合物中不能完全溶解时，本方法可代替GB/T 2910.12和GB/T&nbs...
http://www.polymer.cn/Industry/bz836.html

纺织品定量化学分析第16部分：聚丙烯纤维与某些其他纤维的混合物（二甲苯法）
GB/T 2910的本部分规定了采用二甲苯法测定去除非纤维物质后的由以下纤维组成的二组分混合物中聚丙烯纤维含量的方法： ——聚丙烯纤维和 ——羊毛、动物纤维、蚕丝、棉、粘胶纤维、铜氨纤维、莫代尔纤维、醋酯纤维、三醋酯纤维、聚酰胺纤维、聚酯纤维、聚丙烯腈纤维和玻璃纤维的混纺产品。
http://www.polymer.cn/Industry/bz835.html

纺织品定量化学分析第14部分：醋酯纤维与某些含氯纤维的混合物（冰乙酸法）
GB/T 2910的本部分规定了采用冰乙酸法测定去除非纤维物质后的醋酯纤维和某些含氯纤维或后氯化的含氯纤维组成的二组分混合物中醋酯纤维含量的方法。
http://www.polymer.cn/Industry/bz834.html

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