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FPC课题组新增广州四探针科技RTS-8型四探针测试仪
来源:顾军渭教授个人网站 发布日期:2018-05-30

    课题组拥有RTS-8型四探针测试仪,该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准而设计,是用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。测试范围宽(电阻率:10-5~105 Ω·cm,方块电阻:10-4~106 Ω/口,电导率:10-5~105 s/cm,电阻:10-5~105 Ω),精度高(±0.1%),可用于棒材电阻率、薄圆片电阻率、薄层方块电阻、反型外延层方块电阻、离子注入层方块电阻等的测定。

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