光刻胶在光刻工艺中功能界面的形成机制与调控（NSFC面上项目）-刘鸿

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光刻胶在光刻工艺中功能界面的形成机制与调控（NSFC面上项目）

项目类别：国家自然科学基金面上项目
项目编号：22573037
参与人员：刘鸿（项目负责人）
起止日期：2026.1-2029.12
光刻胶在光刻工艺中功能界面的形成机制与调控，直接经费50万元。