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微悬臂梁传感器在环境检测中的应用
writer:滕艳华,薛长国
keywords:微悬臂梁传感器, 工作原理, 环境检测
source:期刊
specific source:传感器与微系统,2011,30(4)
Issue time:2011年

微悬臂梁传感器以其实时、高灵敏度、非标记等优点,成为一种新型环境检测手段。介绍了微悬臂梁传感器的工作原理,包括其工作模式、读出技术,总结了其在环境检测等方面的研究动态,并对其在环境检测领域的发展进行了展望。