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      目前本课题组的研究方向为微电子学与固体电子学方向。研究重点是超高性能平板显示器件中的柔性透明薄膜晶体管的研究。本课题组主要实验设备包括:磁控溅射系统、离子束溅射系统、熔胶凝胶系统、等离子体清洗系统、UV-Ozone系统、热蒸发系统、静电纺丝系统,原子层沉积系统、反应离子刻蚀系统、扫描电镜、图形发生器、光刻机、蔡司光学显微镜,真空管式炉、马弗炉、超高精度半导体参数测试系统(测量精度达到10 fA)、超高精度阻抗参数测量系统等。 欢迎有志于在微电子器件领域进一步深造的研究生和本科生加入我们课题组。 联系ema... more..>>
热烈祝贺:课题组 丁亚男同学 发表