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国家自然科学基金面上项目:全水溶液工艺的高k介电薄膜的低温制备及TFT器件的集成
项目类别:国家自然科学基金面上项目
项目编号:51572135
项目规模:74.8万
参与人员:刘国侠、单福凯等9人
起止日期:2016-2019
关注于环境友好的全水溶液工艺制备电子器件