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非传统微纳加工技术在驻极体领域的应用 |
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资料类型: |
PDF文件
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关键词: |
驻极体 |
资料大小: |
176K |
所属学科: |
分子表征 |
来源: |
2009年全国高分子学术论文报告会(8.18-8.22,天津) |
简介: |
微纳米精细图案化在微电子行业、化学和生物分析、微流体、光子晶体、微机电以及生物芯片等领域有着广泛的应用。目前,微纳米图案化的技术和方法主要有光刻、电子(离子)束刻蚀、原子力显微镜刻蚀、材料自组装等等,其中传统的光刻技术应用最为广泛,占据着微电子行业每年数千亿美元的巨大市场。随着近年来科技的迅猛发展,人们对于利用表面图案化技术实现对材料的结构和物理、化学、生物等方面的性质进行调控的要求愈来愈高,表面图案化成为从微观纳米尺寸和分子水平上设计和制造新元件或新材料的有效手段。由于传统光刻技术受到光波衍射的限制,在表面图案化向小于100纳米的精细结构发展的过程中,人们对非传统制备技术的研究投入了巨大的热情,物理接触图案化、软刻蚀、以及材料自组装和自组织等技术的发明和发展为人们寻求更简单经济的制备精细图案的方法开拓了新思路。 |
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作者: |
曹廷炳, 薛面起,王芳芳,赵丹
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上传时间: |
2009-09-16 14:03:05 |
下载次数: |
1 |
消耗积分: |
2
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立即下载: |
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