可加工低介电常数功能化聚降冰片烯的合成及性能研究，2009年全国高分子学术论文报告会（8.18-8.22，天津）-中国聚合物网,论文下载

可加工低介电常数功能化聚降冰片烯的合成及性能研究

资料类型：

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关键词：

加成聚合降冰片烯

资料大小：

139K

所属学科：

分子表征

来源：

2009年全国高分子学术论文报告会（8.18-8.22，天津）

简介：

降冰片烯（norbornene,NBE）乙烯加成聚合物的主链中含有脂肪族的环状结构单元，使得聚合物具有低的介电常数（介电常数是2.2）、高的玻璃化温度（大于350oC）、低的吸湿性、耐化学品腐蚀以及良好的耐热性能(起始热分解温度在420oC附近)等特点[4,7-10]。这些特性满足作为集成电路（IC）中低k的基本要求，可以用作IC电路中金属线间和多层布线层间绝缘层。但是，降冰片烯自身的缺陷也使得降冰片烯聚合物拥有很多的优良的性质难以应用推广，比如聚合物很难溶解在普通的有机溶剂中，与基体的粘附性也不是很好，它的刚性骨架还导致了材料较脆只有很小的断裂伸长率，加工性能也差[4,9]。这些缺点都限制了降冰片烯乙烯加成类聚合物作为一种新型低k材料在微电子领域的应用。

作者：

李会平，王晓亚，杨敏，刘宾元，闫卫东

上传时间：

2009-09-24 11:38:19

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enzo44621 2013-07-13 14:20:43

僅一般性論述內容, 並非嚴謹學術論文, (例如實驗部分並未敘述) 參考性不高!

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