 |
改进的溶胶-凝胶法制备不同厚度的PZT薄膜 |
|
|
|
| 资料类型： |
PDF文件
|
| 关键词： |
溶胶-凝胶 PZT薄膜 厚度 介电性能 |
| 资料大小： |
208K |
| 所属学科： |
分子表征 |
| 来源： |
2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议（9.12-9.16，北京.秦皇岛） |
| 简介： |
|
采用改进的溶胶-凝胶技术，在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)基底上制备了不同厚度的Pb(Zr0.50Ti0.50)O3薄膜，在600℃的退火条件下获得了晶格完善的钙钛矿结构。通过前驱体溶液的差热(DTA)、热重(TGA)实验以及PZT膜加热到不同温度的物相转化分析了PZT薄膜的相结构演化过程。采用X射线衍射仪和扫描电子显微镜表征了PZT薄膜的物相和微观形貌，用HP4194A阻抗分析仪测量了薄膜的介电性能。实验结果表明，随着退火循环次数的增多，PZT(111)相含量增加；薄膜的晶粒大小不随薄膜厚度改变；薄膜晶粒呈柱状生长；薄膜的介电常数随测量频率的增加而降低，随薄膜厚度增加而增加。 |
|
| 作者： |
刘梦伟 佟建华 王兢 董维杰 崔天宏 王立鼎
|
| 上传时间： |
2007-07-06 15:12:33 |
| 下载次数： |
618 |
| 消耗积分： |
2
|
| 立即下载： |
|
|
| 友情提示：下载后对该资源进行评论，即可奖励2分。 |
|
| 报告错误： |
1.下载无效
2. 资料明显无价值
3. 资料重复存在 |
| |
|
|
| 你还没有登录，无法发表评论，请首先 |
 |
| 免责声明：本站部分资源由网友推荐，来自互联网，版权属于原版权人，如果不慎侵犯到您的权利，敬请告知，我们会在第一时间撤除。本站中各网友的评论只代表其个人观点，不代表本站同意其观点。 |
|
|
|
|
