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a-Si:H薄膜的制备工艺对其光电特性的影响  
a-Si:H薄膜的制备工艺对其光电特性的影响
资料类型: PDF文件
关键词: 氢化非晶硅  氢含量  光敏性  光致衰退  
资料大小: 299K
所属学科: 分子表征
来源: 2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议(9.12-9.16,北京.秦皇岛)
简介:
采用MW-ECRCVD方法制备的a-Si:H薄膜在模拟太阳光照射下进行光敏性(σp/σd)和光致衰退测试。对比了有、无热丝辅助沉积的薄膜的光电特性,得出沉积温度是影响薄膜光敏性的主要因素,而适当温度的热丝辅助对于薄膜的光致衰退有一定延缓作用。
作者: 王青 阴生毅 胡跃辉 朱秀红 荣延栋 周怀恩 陈光华
上传时间: 2007-07-06 15:51:25
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