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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
PVPON/PAA杂化薄膜 图案化 气相电离 相分离 |
| 资料大小： |
435K |
| 所属学科： |
分子表征 |
| 来源： |
2007年全国高分子学术论文报告会（10.9-10.13，成都） |
| 简介： |
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聚合物薄膜的图案化对于微电路和数字存储工艺技术有重要意义。传统的光刻是一种比较成熟的技术。但是其设备非常昂贵，且需要一些特殊的高分子材料作为光刻胶。在有很多场合需要大面积价格低廉的图案化表面，光刻技术很难实现这一点，因此研究人员在努力寻求其它的方法，例如表面浸润和相分离。 |
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| 作者： |
杨曙光 龙宇华 李悦芳 徐坚
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| 上传时间： |
2007-12-07 15:29:39 |
| 下载次数： |
427 |
| 消耗积分： |
2
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