| 简介： |
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在过去的20年中,微器件制造技术得到了巨大的发展,如光刻技术(lithography)、薄膜沉积技术(thinfilmdeposition)、湿法/干法侵蚀技术(etching)等,其制造材料多选用单晶或多晶硅,但硅基材料的物理和化学性能如低冲击和低韧性、缺乏光学清晰度以及较差的生物相容性等影响了它的广泛应用,特别是在生物医学领域的应用,如在BioMEMS的应用中,硅的导电性能就成为高电压电动流动分析中一个主要问题。相反地,高分子材料就表现出很好的物理化学性能,特别是一些高分子材料不仅具有非常好的生物相容性,而且能够提供各种不同的生物功能性。因此,近年来,高分子材料的微成型方法无论在学术界还是工业界都得到很大的发展,如微注塑成型(micro-injection)、热压成型(embossing)等。 |
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