用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导，2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议（9.12-9.16，北京.秦皇岛）-中国聚合物网,论文下载

用作Si基微型传声器中驻极体层的电荷寿命及其表面电导

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分子表征

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简介：

通过对化学表面修正前后的氮氧化硅复合膜的表面电导率的测量和电荷横向扩散效应的考察，讨论了化学表面修正工艺对样品中电荷横向扩散的抑止作用。借助与未经平面工艺处理的氮氧化硅复合膜大片的对比，研究了这类驻极体功能膜的微型化对其电荷寿命的影响。

作者：

吴贤勇付晓明夏钟福安振连张鹏锋王丽李军

上传时间：

2007-07-12 15:04:20

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