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ITO靶材的研究现状与发展趋势  
ITO靶材的研究现状与发展趋势
资料类型: PDF文件
关键词: ITO靶材  透明导电膜  烧结工艺  
资料大小: 160K
所属学科: 分子表征
来源: 2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议(9.12-9.16,北京.秦皇岛)
简介:
概述了ITO靶材的应用范围和日益增大的市场需求;对ITO靶材的加工技术和工艺进行了探讨,对ITO薄膜的特性进行了描述;并讨论了ITO靶材所面临的技术问题及发展趋势
作者: 李音波 李卫华 闫琳 余前春 韩志伟
上传时间: 2007-07-13 15:57:06
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