3英寸YBCO/CeO2/Al2O3双面超导外延薄膜的制备研究，2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议（9.12-9.16，北京.秦皇岛）-中国聚合物网,论文下载

3英寸YBCO/CeO2/Al2O3双面超导外延薄膜的制备研究

资料类型：

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关键词：

YBCO薄膜 CeO2缓冲层调速双轴旋转微波器件

资料大小：

248K

所属学科：

分子表征

来源：

2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议（9.12-9.16，北京.秦皇岛）

简介：

采用自制的大面积四靶溅射设备，并结合基片的调速双轴旋转，成功研制出3英寸双面CeO2薄膜及YBa2Cu3O7－δ(YBCO)薄膜。通过对所制备薄膜的微观结构、表面形貌以及电性能的分析测试，得到的CeO2薄膜与YBCO薄膜具有良好的c轴外延取向，CeO2薄膜的（002）峰与YBCO薄膜的（005）峰FWHM均小于1。薄膜厚度均匀性良好，厚度起伏在5%以内。YBCO薄膜Tc分布在88.5～90K，△TC＜1K，Jc>1106A/cm2，Rs(10GHz，77K)两面分别为0.53mΩ和0.56mΩ，能较好地满足微波器件研制中的需要。

作者：

熊杰陶伯万谢廷明陈家俊刘兴钊张鹰李言荣

上传时间：

2007-07-13 16:54:31

下载次数：

613

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