本发明属于光刻胶树脂前体制备技术领域,具体涉及一种无金属残留、窄分子量分布聚苯乙烯衍生物光刻胶树脂前体的制备。本发明采用有机催化的活性自由基聚合技术(Reversible Complexed Mediated Polymerization, RCMP),选择特殊结构设计的有机碘代物作为自由基引发剂,四丁基碘化铵作为有机催化剂,通过优化聚合反应条件,如温度、时间和聚合度等技术参数,制备得到一系列不同分子量范围和分子量分布的光刻胶用树脂前体聚苯乙烯衍生物。