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研究成果与合作

研究成果与合作  
光刻胶在光刻工艺中功能界面的形成机制与调控（NSFC面上项目）
 
成果基本信息
项目类别：  国家自然科学基金面上项目
参与人员：  刘鸿（项目负责人）
起止日期： 2026.1-2029.12
成果介绍
简介：  光刻胶在光刻工艺中功能界面的形成机制与调控，直接经费50万元。
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信息来源：   (刘鸿个人网站)
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