钙钛矿型氧化物SrTiO3 /BaTiO3多层膜的激光分子束外延生长研究-中国聚合物网,论文下载

钙钛矿型氧化物SrTiO3 /BaTiO3多层膜的激光分子束外延生长研究

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关键词：

激光分子束外延 SrTiO3/BaTiO3 多层膜反射式高能电子衍射原子力显微镜

资料大小：

155K

所属学科：

分子表征

来源：

来源网络

简介：

用激光分子束外延技术在SrTiO3（001）衬底上外延生长SrTiO3/BaTiO3多层膜，通过反射式高能电子衍射（RHEED）原位实时监测并结合原子力显微镜（AFM），研究了不同基片温度下所生长薄膜的表面平整度，利用X射线衍射（XRD）对外延薄膜进行了结构分析，结果表明薄膜具有二维生长模式，在基片温度为380~470℃之间生长的薄膜具有原子级光滑，并且具有完全C轴取向。同时运用X射线光电子能谱（XPS）研究了薄膜界面的互扩散,结果表明降低制备薄膜时的基片温度有利于减少互扩散。

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2007-07-09 15:15:44

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