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DC Arc Plasma Jet CVD 金刚石自支撑膜的质量对物理性能的影响  
DC Arc Plasma Jet CVD 金刚石自支撑膜的质量对物理性能的影响
资料类型: PDF文件
关键词: 金刚石自支撑膜  热学性能  力学性能  光学性能  
资料大小: 253K
所属学科: 分子表征
来源: 2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
本研究对Raman谱进行高斯(Gauss)和洛仑兹(Lorenz)分峰拟合,将金刚石自支撑膜Raman谱分成纯金刚石峰和非金刚石峰,对比两种方法的精度,结果显示高斯拟合的精度高些。运用经验公式计算出金刚石自支撑膜的质量因子,发现质量因子主要受纯金刚石峰强度和无定型碳峰强度的影响,非金刚石峰强度与质量因子成反比,纯金刚石峰强与质量因子成正比,同时还受到内应力的影响。质量因子与热导率、断裂强度和红外透过率的关系表明,金刚石自支撑膜的以上物理性能与其质量成正比关系。
作者: 郭世斌,王耀华,陈飞,吕反修,唐伟忠,佟玉梅
上传时间: 2008-05-21 14:42:18
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