有机太阳能电池ITO 电极的光刻制备法及其研究，2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)-中国聚合物网,论文下载

有机太阳能电池ITO 电极的光刻制备法及其研究

资料类型：

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关键词：

ito 电极光刻方块电阻

资料大小：

280K

所属学科：

分子表征

来源：

2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)

简介：

目前有机太阳能电池是光电行业研究的热点之一。通常该器件以ITO为阳极，通过真空蒸镀的方法制作。在对器件进行测试时，ITO电极的设计制作，有利于器件的保护。用光刻技术进行ITO电极的制作，可以得到非常精细的结果。重点阐述了利用光刻方法制作优良ITO电极的注意点，包括表面清洗、曝光控制、显影控制和腐蚀工艺，其中由于不同ITO玻璃的导电层厚度、各成分含量不同，所以腐蚀工艺的研究是重点中的重点。提供了对生成光刻ITO电极的质量进行准确评价的一种简便方法。

作者：

席曦，王振交，杨辉，乔琦，季静佳，陆红艳，李果华

上传时间：

2008-08-06 13:02:24

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相关评论 共有11人发表评论

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goodlifan 2011-09-20 15:03:13

henhao

jcy20061986 2011-03-02 21:45:13

挺好的。参考一下

sw3552003 2009-12-02 13:09:05

yueduzhong

sw3552003 2009-12-02 12:46:30

正在阅读中。

zjlbuaa 2009-06-26 8:43:25

很不错的资料，很有参考价值

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