铁电薄膜退火方法的研究，2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)-中国聚合物网,论文下载

铁电薄膜退火方法的研究

资料类型：

PDF文件

关键词：

锆钛酸铅薄膜普通退火快速退火激光退火

资料大小：

204K

所属学科：

分子表征

来源：

2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)

简介：

以锆钛酸铅薄膜（PZT）为例，分析了国内外铁电薄膜退火的各种方法。针对解决铁电薄膜基底高温生长工艺与硅集成电路承受温度较低的不兼容及器件性质劣化的难题，分别对普通炉子退火、快速热退火及激光退火进行了详细的分析比较。激光低温退火技术有望成功地在未来应用PZT铁电薄膜制作组件时，增加其制备工艺设计的弹性和可行性。

作者：

田雪雁，徐征

上传时间：

2008-08-28 13:24:51

下载次数：

消耗积分：

立即下载：

好

1人

中

1人

差

1人

友情提示：下载后对该资源进行评论，即可奖励2分。

报告错误：

1.下载无效　 2. 资料明显无价值　 3. 资料重复存在

相关评论 共有0人发表评论

更多评论

你还没有登录，无法发表评论，请首先

免责声明：本站部分资源由网友推荐，来自互联网，版权属于原版权人，如果不慎侵犯到您的权利，敬请告知，我们会在第一时间撤除。本站中各网友的评论只代表其个人观点，不代表本站同意其观点。

最新上传资料
·	可调的透明导电膜研究进展
·	电子纸显示ITO电极保护层研究及...
·	THz量子级联激光器的材料生长和...
·	退火条件对纳米ZnO 电致发红-橙...
·	无机薄膜电致发光器件中绝缘层材...
·	稀土掺杂氮化镓的发光机理、制备...
·	p-Si TFT栅绝缘层用SiN薄膜的...
·	不同微观形貌所引起的聚二氧乙撑...
·	具有双掺杂发射层白光OLED器件...
·	新型双向传输型区域规整噻吩嵌段...
·	树枝状8-羟基喹啉锌的合成和荧光...
·	梯度掺杂LiF提高电子注入与传输...
·	喷雾热解法合成球形(Y,Gd)BO3:E...
更多>>

热点资料
·	剪切增稠液体的制备及其性能表征
·	Li4Ti5O12/C 复合负极材料的一...
·	有机光电导电材料PEDOT-PSS薄...
·	多孔吸声材料发展现状与展望
·	相变恒温材料六水氯化钙的研究
·	玻璃纤维增强阻燃PC/ABS 合金性...
·	木质素的结构及其改性研究进展
·	有机太阳能电池ITO 电极的光刻...
·	蓝宝石衬底化学机械抛光的机理研...
·	TiO2 介孔光催化剂的制备研究进...
·	固体表面润湿性机理及模型
·	陶瓷坯釉料配方优化系统的设计
·	微晶纤维素的制备及性质研究
更多>>