退火气氛对Al-F 共掺杂ZnO 透明导电薄膜性能的影响，2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)-中国聚合物网,论文下载

退火气氛对Al-F 共掺杂ZnO 透明导电薄膜性能的影响

资料类型：

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关键词：

ZnO 薄膜 Al F 共掺杂溶胶-凝胶退火气氛

资料大小：

376K

所属学科：

分子表征

来源：

2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19，武汉)

简介：

通过溶胶-凝胶法，采用Al、F共掺杂的方法在4种不同的气氛下制备ZnO薄膜，研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电阻率和透光性随退火气氛的变化关系。制备的Al∶F∶ZnO薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜。4种退火气氛相比，在空气气氛下退火时，平均晶粒尺寸最大，为43.4nm，导电性能最好，电阻率可低达6.510-2Ωcm。4种退火气氛下，薄膜在可见光范围内的平均透过率均达到了75%以上，其中，空气气氛下退火时薄膜的透光性最好。

作者：

周丽萍，吕珺，汪冬梅，陈雯雯，吴玉程，郑治祥

上传时间：

2008-09-05 13:39:05

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