搜索:  
磁控溅射Ge薄膜的结晶特性研究  
磁控溅射Ge薄膜的结晶特性研究
资料类型: PDF文件
关键词: Ge薄膜  XRD  Raman散射光谱  晶粒尺寸  声子限域理论  
资料大小: 128K
所属学科: 分子表征
来源: 2004年第五届中国功能材料及其应用学术会议(9.12-9.16,北京.秦皇岛)
简介:
采用直流磁控溅射技术制备了不同衬底温度下的Ge单层膜,XRD分析结果表明,当衬底温度低于350℃时Ge膜为非晶结构,高于400℃时开始结晶。并研究了不同尺寸Ge颗粒的Raman散射谱特征,与晶体Ge的散射谱相比,观察到纳米Ge颗粒Raman散射谱的峰位红移与峰形宽化现象;并根据Raman谱的红移量计算了纳米Ge晶粒的平均尺寸,采用声子限域理论较好地解释了实验结果。
作者: 高立刚 陈刚 邓书康 陈亮 阚家德 俞帆 杨宇
上传时间: 2007-07-13 14:56:27
下载次数: 617
消耗积分: 2  
立即下载:
1人
1人
1人
友情提示:下载后对该资源进行评论,即可奖励2分。
报告错误:  1.下载无效  2. 资料明显无价值  3. 资料重复存在

相关评论 共有0人发表评论 更多评论
你还没有登录,无法发表评论,请首先 登录 注册
免责声明:本站部分资源由网友推荐,来自互联网,版权属于原版权人,如果不慎侵犯到您的权利,敬请告知,我们会在第一时间撤除。本站中各网友的评论只代表其个人观点,不代表本站同意其观点。
最新上传资料
· 关于发展我国材料科学技术的若干...
· 形状记忆材料的新进展
· 功能晶体材料的发展
· 功能陶瓷材料研究的若干进展
· 紫外、深紫外非线性光学晶体的最...
· 土木工程结构智能感知材料、传感...
· 新材料与功能材料的战略地位、研...
· 一维纳米材料中的新效应和新功能
· 自旋电子学功能材料
· 磁性纳米颗粒膜微波物性研究
· 纳米集成电路用大直径硅及硅基材...
· 压力及制备条件对大块非晶合金结...
· 透明导电薄膜材料的研究与发展趋...
更多>> 
热点资料
· 转炉烟尘制备氮化铁磁性材料及其...
· 离子束溅射生长非晶Si薄膜的研究
· 稀磁半导体研究的最新进展
· 低电压并五苯晶体管的制备
· PECVD法制备微晶硅薄膜的研究
· 反应温度对苯热合成氮化硼纳米晶...
· 聚砜类分离膜的研究进展
· II-VI族化合物半导体中的晶体缺...
· 透明导电薄膜材料的研究与发展趋...
· 氮气流量对电弧离子镀TiN薄膜性...
· 电磁屏蔽导电涂料发展现状
· 纳米TiO2光催化剂可见光活性研...
· 铁酸锌-二氧化钛纳米复合膜的光...
更多>> 
相关资料
· 分步结晶对间规聚苯乙烯晶粒尺寸...
· 不同溅射气压对β-FeSi2形成的...
· 退火温度对磁控溅射制备的β-Fe...
· La 0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜的制备...
· 并五苯场效应晶体管的研制
· Ho 对La0.7Sr0.3MnO3 庞磁阻材...
· 高性能稀土贮氢合金Mm(NiCoAlMn...
更多>>