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用于玻璃刻蚀的新型光刻胶 |
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| 资料类型： |
Word文件
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| 关键词： |
玻璃刻蚀 光刻胶 |
| 资料大小： |
878K |
| 所属学科： |
分子表征 |
| 来源： |
2006全国高分子材料科学与工程研讨会（10.15-10.17，四川） |
| 简介： |
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本工作采用改性超支化聚酯制备了作为刻蚀掩膜的光刻胶，研究了该感光树脂的感光活性、最大凝胶率以及对玻璃的附着性，研究了HCl、HNO3对HF刻蚀玻璃的影响，所得的混合刻蚀剂对载玻片玻璃的刻蚀速度≥35μm/min；以该光刻胶为单层掩膜，可得到线宽50μm的清晰刻蚀图样，玻璃的刻蚀深度超过38μm。 |
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| 作者： |
柯旭，巫文强，王跃川
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| 上传时间： |
2008-10-27 16:49:16 |
| 下载次数： |
9 |
| 消耗积分： |
2
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| 立即下载： |
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