WO3薄膜退火热处理工艺的研究-中国聚合物网,论文下载

WO3薄膜退火热处理工艺的研究

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WO3 SEM XRD 薄膜退火

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简介：

采用真空镀膜工艺在微晶玻璃衬底上沉积了WO3薄膜，WO3薄膜从300~600℃分别进行了退火热处理,随着退火热处理温度的不同，WO3薄膜从晶粒尺寸上以及晶相上都发生了较大的变化，并用SEM、XRD等手段进行了分析，随着退火热处理温度的升高，WO3晶粒逐渐增大，并实现了从非晶向晶态的转变，最终得到了六方结构并且是在[100]方向上择优取向的WO3薄膜，获得了稳定性较好的工艺条件，为进一步开发研制WO3气敏元件提供了技术基础。

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2007-07-06 16:16:06

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相关评论 共有3人发表评论

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LPT2006 2009-01-06 10:28:26

还行，挺有帮助的！

sunyusunyu77 2008-11-21 21:17:32

我觉得这篇文章不错

sunyusunyu77 2008-11-21 21:13:16

这篇文章不是特别的好，但是非常感谢

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