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PVD薄膜生长的Monte Carlo模拟 |
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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
物理气相沉积 蒙特卡罗模拟 薄膜生长 |
| 资料大小： |
172K |
| 所属学科： |
模拟技术 |
| 来源： |
来源网络 |
| 简介： |
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蒙特卡罗（MonteCarlo，MC）和分子动力学是模拟薄膜生长的两种基本方法。本文结合各种PVD技术的工艺特点，介绍了薄膜生长的MonteCarlo模拟。详尽地总结了载能粒子沉积薄膜生长的KineticMonteCarlo模型和算法。最后指出建立精细的模型、算法并适当应用分子动力学是提高模拟可靠性的方法。 |
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| 上传人： |
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| 上传时间： |
2007-07-06 15:47:19 |
| 下载次数： |
595 |
| 消耗积分： |
2
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| dengwei 2009-09-11 9:23:25 |
| eeeeeeee |
| zuowu 2009-03-29 18:49:03 |
| hao ````````````````````````````````````` |
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