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基片上薄膜生长过程的计算机模拟 |
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| 资料类型： |
PDF文件
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| 关键词： |
薄膜生长 沉积 计算机模拟 |
| 资料大小： |
462K |
| 所属学科： |
模拟技术 |
| 来源： |
来源网络 |
| 简介： |
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根据薄膜的成核统计理论，考虑吸附粒子的碰撞、迁移、蒸发等因素，针对薄膜单层和多层核生长类型的生长，用计算机进行仿真模拟。同时研究了几种因素对粒子沉积成膜的影响。根据计算机模拟情况，得出了粒子百分变化与成团粒子百分变化关系、生长过程对粒子沉积成膜的影响。论证了按成核理论下的随机统计规律生成的多层粒子膜,其厚度方面的不均匀性与实际是一致的。并给出了计算机模拟研究薄膜微观生长过程的立体图象。 |
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| 上传人： |
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| 上传时间： |
2007-07-09 13:36:59 |
| 下载次数： |
594 |
| 消耗积分： |
2
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